Stálý zákazník Ing. Miroslav J. má zájem o dodávka systému magnetronového naprašování
Podrobný popis:
- předmětem veřejné zakázky je dodávka systému magnetronového naprašování, vč. software a příslušenství
- Systém musí být navržen pro magnetronové naprašování (i reaktivní) tenkých filmů (s tloušťkami min ~ 5nm) kovů, kovových slitin, oxidů kovů, nitridů kovů, vícevrstevnatých systémů, na substráty s velikostí v průměru minimálně 4" s prostorovou homogenitou naprašovaných vrstev +/- 2,5% nebo menší
- Systém a jeho hardwarové komponenty musí být kompatibilní s teplotou ohřívače až do 1000 °C a teplotou vzorku/substrátu až do 800 °C