Zakázka na dodání zařízení pro depozici tenkých vrstev magnetronovým naprašováním (Ostatní) - Brno-město
Mgr. Pavel V. hledá dodavatele na dodání zařízení pro depozici tenkých vrstev magnetronovým naprašováním
Podrobný popis:
- předmětem veřejné zakázky je dodání zařízení pro depozici tenkých vrstev magnetronovým naprašováním
- Zařízení je určené pro výzkum a vývoj v oblasti přípravy nových materiálů ve formě tenkých vrstev připravených metodou magnetronového naprašováni
- Zařízení bude vybaveno držákem substrátu, který svými rozměry umožňuje pracovat s kruhovými substráty velikosti alespoň 4 palce
- Tento držák umožňuje současné vyhřívání substrátu v prostředí obsahujícím kyslík minimálně na teplotu 800 stupňů Celsia, přivedení vysokofrekvenčního signálu/předpětí a rotaci v průběhu depozice
- Zařízení je vybaveno alespoň třemi magnetronovými hlavami pro terče o průměru minimálně 2 palce, které budou vybaveny clonami7
- Každá hlava je napájena dedikovaným pulzním stejnosměrným zdrojem s frekvencí až 350 kHz