Instituce (Praha) publikuje zakázku na dodání zařízení pro povrchové technologie
Podrobný popis:
- předmětem veřejné zakázky je nákup zařízení pro povrchové technologie
- a) komora - skříňová, dveřní, dvouplášťová vodou chlazená, možnost umístění min. 4 katod (magnetron i oblouk), vsázka pr. min. 500 x 500 mm, povlakovací výška min. 400 mm, odporové topení s výkonem pro dosažení teploty > 500 °C, min. 4x průtokoměry v konfiguraci umožňující provádění všech specifikovaných vrstev
- b) rozvaděč klimatizovaný s možností umístění až 5-ti zdrojů
- c) zdroje - 2 ks min. 200 A oblouk, 1 ks min. 4 00A oblouk, 1 ks proudový zdroj pro čištění, 1 ks magnetron min. 30 kW, 1 ks magnetron min. 10 kW, 1 ks bias min. 15 kW/30 kHz/1000 V