Instituce (Praha) publikuje zakázku na upgrade litografického systému
Podrobný popis:
- předmětem veřejné zakázky je upgrade litografického systému
- přidání druhého objektivu (x3 pro rozlišení 5 um)
- přidání třetího objektivu (x20 pro rozlišení 0.6 um)
- přidáni funkce integrovaného profilometru
- více informací naleznete v příloze