Zakázka na dodávka automatického stolního RTP (Ostatní) - Brno-město
Stálý zákazník Ing. Věra L. má zájem o dodávka automatického stolního RTP
Podrobný popis:
- předmětem veřejné zakázky je dodávka automatického stolního RTP pro wafery do velikosti 6 ” (150 mm) a MEMS, který bude kompatibilní s čistým prostorem (ISO 5) bez statické elektřiny a musí mít efektivní rychlost náběhu až 150 C/s a výslednou teplotou přesahující 1.100 C/s dobou výdrže až 60 min na uvedené teplotě
- Systém je vybavený třemi plynovými linkami pro N2, O2 a Ar a vakuovou schopností až 10–6 Torr